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电子/离子显微

双球差透射电子显微镜

ARM300F2 · 日本电子株式会社

原子分辨HAADF-STEM成像、HRTEM成像 2、X射线能量色散谱仪(EDX)与电子能量损失谱 (EELS) 2、差分相位衬度成像DPC-STEM、最优明场像(OBF-STEM) 3. 旋进电子衍射分析、4维扫描透射电镜成像技术 4.…

技术摘要

电子枪冷场发射电子枪
加速电压300 kV、120kV、80 kV
高分辨成像相机TVIPS TemCam-XF416 (R)
SAAF全场相位衬度探测器

完整技术指标

  1. 01

    电子枪:冷场发射电子枪 2、加速电压:300 kV、120kV、80 kV 3、球差校正器:12极子ETA TEM 和STEM球差校正器

  2. 02

    STEM分辨率:53pm@300kV、96pm@80kV

  3. 03

    TEM晶格分辨率:50pm@300kV 4、探测器系统: (1)高分辨成像相机:TVIPS TemCam-XF416 (R) (2)SAAF:全场相位衬度探测器 (3)EDS:158 mm×2超大窗口能谱仪系统) (4)单电子计数相机:Merlin 1R(旋进电子衍射配备DigiSTAR 2010系统)

主要功能

  • 01原子分辨HAADF-STEM成像、HRTEM成像 2、X射线能量色散谱仪(EDX)与电子能量损失谱 (EELS) 2、差分相位衬度成像DPC-STEM、最优明场像(OBF-STEM)
  • 02旋进电子衍射分析、4维扫描透射电镜成像技术
  • 03三维重构:形貌和能谱三维重构