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电子/离子显微
双球差透射电子显微镜
ARM300F2 · 日本电子株式会社
原子分辨HAADF-STEM成像、HRTEM成像 2、X射线能量色散谱仪（EDX）与电子能量损失谱 (EELS) 2、差分相位衬度成像DPC-STEM、最优明场像（OBF-STEM） 3. 旋进电子衍射分析、4维扫描透射电镜成像技术 4.…
技术摘要
| 电子枪 | 冷场发射电子枪 |
|---|---|
| 加速电压 | 300 kV、120kV、80 kV |
| 高分辨成像相机 | TVIPS TemCam-XF416 (R) |
| SAAF | 全场相位衬度探测器 |
完整技术指标
- 01
电子枪：冷场发射电子枪 2、加速电压：300 kV、120kV、80 kV 3、球差校正器：12极子ETA TEM 和STEM球差校正器
- 02
STEM分辨率：53pm@300kV、96pm@80kV
- 03
TEM晶格分辨率：50pm@300kV 4、探测器系统： （1）高分辨成像相机：TVIPS TemCam-XF416 (R) （2）SAAF：全场相位衬度探测器 （3）EDS：158 mm×2超大窗口能谱仪系统） （4）单电子计数相机：Merlin 1R（旋进电子衍射配备DigiSTAR 2010系统）
主要功能
- 01原子分辨HAADF-STEM成像、HRTEM成像 2、X射线能量色散谱仪（EDX）与电子能量损失谱 (EELS) 2、差分相位衬度成像DPC-STEM、最优明场像（OBF-STEM）
- 02旋进电子衍射分析、4维扫描透射电镜成像技术
- 03三维重构：形貌和能谱三维重构